石英管微波等離子體發生裝置微波等離子體分析儀等離子體發生裝置

產品簡介：

該設備利用頻率為2.45GHz的微波激勵稀薄氣體放電，從而產生等離子體。真空反應室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺可以方便地在反應腔體內上下升降調節。

產品型號：BXS01-HF19-FM

更新時間：2024-05-20

廠商性質：生產廠家

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產品介紹

石英管微波等離子體發生裝置 微波等離子體分析儀 等離子體發生裝置

型號:BXS01-HF19-FM

該設備利用頻率為2.45GHz的微波激勵稀薄氣體放電，從而產生等離子體。真空反應室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺可以方便地在反應腔體內上下升降調節。

基片臺位于石英管反應腔體的中心，該基片臺除了基本的上下升降功能外，同時具有水冷控溫的功能，雙層水冷支架與基片臺可方便地拆卸與維護，即使樣品以不同的形態（片狀、塊狀、粉末狀等）出現，更換或改裝基片臺也十分方便。

石英管反應腔兩端有雙層水冷套作降溫保護，端口以不銹鋼部件固定并密封（加橡膠）石英腔體，以確保反應腔的安全穩定工作。

該設備的真空系統采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6×10－1帕，抽速2升/秒，額定轉速1400轉/分，機械泵與真空室之間設置有電磁閥和高真空隔膜閥，旁路管道設置另一隔斷閥（高真空微調閥），以便于真空系統運行安全及工作時反應氣體壓強的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封，通常：相對不動接口采用金屬銅密封，相對可動接口采用橡膠密封。

真空測量采用數字壓阻式真空計，用來測量反應腔內的工作氣壓。

主要電氣配置：

1) 真空泵：2XZ-2型旋片真空泵采用單相220V交流電源，對實驗室電源無特殊要求。

2) 磁控管：采用工業上通用的磁控管，該磁控管具有使用壽命長、可靠性高的特點，維護方便。

3) 真空計：采用壓阻式真空計，用于測量工作時的工作氣壓。

4) 溫控儀：用于冷卻水循環系統中的制冷及水溫控制。

5) 500W微波功率源：通過調節磁控管陽極電壓的方法調節微波功率的輸出，利用簡單、可靠、易維護的電路實現微波功率的連續可調輸出。

6) 冷卻水：裝置自帶循環冷卻水，對實驗室無水源要求，既節水又方便。

二、技術參數及特性1. 反應室工作壓強：幾百帕～十千帕

2. 反應室極限壓強: 6×10－1帕3. 反應室尺寸： Φ50mm

4. 微波功率： 0～500W5. 基片溫控： 200～1000℃

外形尺寸 1.4*1.5*0.6立方米（mm）

測量范圍 0.500W（Ω）

北京北信未來電子科技中心

：

：王華

：www.lcs168.com

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